Probe Alat Ukur Ketebalan Lapisan

Model probe

F400

F1 

F1/90º

F10

N1

CN02

Prinsip kerja

Induksi magnetik

Arus eddy

Rentang pengukuran (μm)

0-400

0-1250

 0-10000

0 hingga 1250μm
0 hingga 40μm
(untuk pelat kromium
pada tembaga)

10~200

Resolusi rentang rendah (μm)

0.1

0.1

10

0.1

1

Akurasi

Kalibrasi satu titik (μm)

±(3%H+1)

±(3%H+10)

±(3%H+1.5)

±(3%H+1)

Kalibrasi dua titik (μm)

±[(1~3)H%+0.7]

±[(1~3)H%+1]

±[(1~3)%H+10]

±[(1~3)%H+1.5]

-

Kondisi pengukuran

Kelengkungan minimum
area minimum (mm)

Cembung 1

1.5

Datar

10

3

Datar

Diameter area
minimum (mm)

φ3

φ7

φ7

φ40

φ5

φ7

Ketebalan kritis
substrat (mm)

0.2

0.5

0.5

2

0.3

tak terbatas